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簡要描述：IT2800系列高精密源測(cè)量單元IT2800系列是外觀緊湊、經(jīng)濟(jì)高效的臺(tái)式源測(cè)量單元，簡稱源表或SMU。它集6種設(shè)備功能于一體，綜合了四象限電壓源，電流源，6.5位數(shù)字萬用表、脈沖發(fā)生器、電池模擬器以及電子負(fù)載功能?？纱钆銲TECH SPS5000系列半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試軟件實(shí)現(xiàn)高效的半導(dǎo)體器件特性表征測(cè)試。
產(chǎn)品型號(hào)：IT2805R廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2025-06-06訪 問 量：870產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
| 品牌 | ITECH/艾德克斯 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
IT2800系列是外觀緊湊、經(jīng)濟(jì)高效的臺(tái)式源測(cè)量單元，簡稱源表或SMU。它集6種設(shè)備功能于一體，綜合了四象限電壓源，電流源，6.5位數(shù)字萬用表、脈沖發(fā)生器、電池模擬器以及電子負(fù)載功能。可搭配ITECH SPS5000系列半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試軟件實(shí)現(xiàn)高效的半導(dǎo)體器件特性表征測(cè)試。全系列覆蓋了10fA到10A的電流范圍以及100nV到1000V的電壓范圍。除了直流工作模式之外，IT2800系列SMU還能夠進(jìn)行脈沖測(cè)量，以防止器件自身發(fā)熱導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果出現(xiàn)誤差。5寸觸摸顯示屏，使源表具有出色的圖形用戶界面以及各種顯示模式，幫助工程師顯著提高測(cè)試效率。廣泛應(yīng)用于分立半導(dǎo)體器件、功率芯片、無源器件、光電器件、微功耗量測(cè)以及材料研究等領(lǐng)域。
電子器件的許多重要參數(shù)與電阻率及其分布的均勻性有密切的關(guān)系，例如二極管的反向飽和電流，晶體管的飽和壓降和放大倍數(shù)β等，都直接與硅單晶的電阻率有關(guān)。因此器件的電阻率測(cè)試已經(jīng)成為芯片加工中的重要工序，對(duì)其均勻性的控制和準(zhǔn)確的測(cè)量直接關(guān)系將來能否制造出性能更優(yōu)功率器件。 不同于使用萬用表測(cè)量常規(guī)導(dǎo)體電阻，半導(dǎo)體硅單晶電阻率以及微電子領(lǐng)域的其他金屬薄膜電阻率的測(cè)量屬于微區(qū)薄層電阻測(cè)試，需要利用微小信號(hào)供電以及高精密的量測(cè)設(shè)備，包括測(cè)試接線方式上，也需要利用四線制的接法來提升測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性，行業(yè)內(nèi)稱為四探針測(cè)試法。 什么是四探針測(cè)試法？ 四探針技術(shù)可測(cè)試對(duì)象主要有：晶圓片和薄層電阻，例如硅襯底片、研磨片、外延片，離子注入片、退火硅片、金屬膜和涂層等。利用探針分析可檢測(cè)整個(gè)芯片表面薄層電阻均勻性，進(jìn)而判斷離子注入片和注入工藝中存在的問題。 四探針法按測(cè)量形狀可分為直線四探針法和方形四探針法。 1）直線四探針法 直線四探針測(cè)試法的原理是用針距為1mm的四根探針同時(shí)壓在樣品的平整表面上，利用恒流源給外面的兩個(gè)探針通以微小電流，然后在中間兩個(gè)探針上用高精密數(shù)字萬用表測(cè)量電壓，最后根據(jù)理論公式計(jì)算出樣品的電阻率，電阻率計(jì)算公式：，S代表探針間距。 直線四探針法能測(cè)出超過其探針間距三倍以上大小區(qū)域的不均勻性。 測(cè)試設(shè)備：不同探針間距探針臺(tái)+IT2806高精密源表+上位機(jī)軟件PV2800 IT2806 高精密源表（簡稱SMU）：集六種設(shè)備功能于一體（恒流源、恒壓源、脈沖發(fā)生器、6.5位DVM、電池模擬器，電子負(fù)載）。在電阻率的測(cè)試中，可將IT2806高精密源表切換至恒流源模式，在輸出電流同時(shí)量測(cè)中間兩探針之間的微小壓降，并搭配免費(fèi)的PV2800上位機(jī)軟件，自動(dòng)得出電阻率的測(cè)量結(jié)果。
測(cè)試精度高：高達(dá)100nV/10fA分辨率，電流量測(cè)精度最高可達(dá)0.1%+50pA，電壓量測(cè)精度最高可達(dá)0.015%+300uV；提供正向/反向電流連續(xù)變化測(cè)試，提高測(cè)試精度。 2）方形四探針法（如范德堡法） 范德堡法適用于扁平，厚度均勻，任意形狀且不含有任何隔離孔的樣品材料測(cè)試。相比較直線型四探針法，對(duì)樣品形狀沒有要求。測(cè)試中，四個(gè)探針接觸點(diǎn)必須位于樣品的邊緣位置，測(cè)試接線方式也是在其中兩個(gè)探針點(diǎn)提供恒定電流，另外兩個(gè)點(diǎn)量測(cè)電壓。圍繞樣品進(jìn)行8次測(cè)量，對(duì)這些讀數(shù)進(jìn)行數(shù)學(xué)組合來決定樣品的平均電阻率。詳細(xì)測(cè)試方法可參見ASTM標(biāo)準(zhǔn)F76。
總結(jié)：利用IT2800系列高精密源/測(cè)量單元可以精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體薄層電阻的電阻率測(cè)試，為半導(dǎo)體制造工藝的改進(jìn)提供數(shù)據(jù)依據(jù)。IT2800 SMU因其高精度測(cè)量和豐富的探針臺(tái)治具優(yōu)勢(shì)，為行業(yè)提供專業(yè)的測(cè)試解決方案。
? 圖形視圖、范圍視圖及記錄視圖三種圖形顯示模式
? 掃描掃描模式：線性/日志/脈沖線性/脈沖日志及清單
? 多達(dá)16臺(tái)設(shè)備同步功能，具備并行測(cè)試能力
? 內(nèi)建電阻、功率和Math測(cè)量功能
? 前置USB接口用于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、截屏或測(cè)試配置導(dǎo)入
? 豐富的內(nèi)置接口：Digital IO、USB、LAN
? IT2800和IT2800R兩種機(jī)型可選，IT2800R支持后背板三同軸輸出
? 可選配專業(yè)半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試軟件SPS5000，加速器件特性表征測(cè)試
六合一高精密源表，降低測(cè)試成本
傳統(tǒng)的半導(dǎo)體I-V特性測(cè)量方案通常是復(fù)雜且成本昂貴的，需要多種儀器配合完成測(cè)試，如電壓/電流源，脈沖發(fā)生器，高精密電 壓/電流表等。不僅占用有限的測(cè)試臺(tái)架空間，同時(shí)工程師需要編程實(shí)現(xiàn)多臺(tái)設(shè)備的控制及同步，才能確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確度。
IT2800系列SMU為工程師提供了一種即經(jīng)濟(jì)又高效的解決方案。它集六種設(shè)備功能于一體，將不同輸出和測(cè)量能力整合到緊 湊的1/2 2U尺寸中，可精確地輸出電壓或電流以及同時(shí)測(cè)量電壓和/或電流。它兼具以下儀器的功能：四象限電壓源、電流源、61/2數(shù)字萬用表、脈沖發(fā)生器、電池模擬器以及電子負(fù)載。
直觀的圖形化顯示，快速獲取產(chǎn)品特性
IT2800系列SMU的前面板有許多功能，以提高交互式使用的速度，用戶友好性和易操作性。這些功能包括5英寸彩色LCD觸摸顯示屏，USB 2.0 memory I/O端口、一個(gè)旋轉(zhuǎn)導(dǎo)航按鈕、trigger按鍵、功能按鍵以及主流的香蕉插座。USB2.0內(nèi)存端口支持輕松的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，測(cè)試配置文件導(dǎo)入以及系統(tǒng)升級(jí)。IT2800提供圖形化和數(shù)字化兩種測(cè)量結(jié)果顯示模式，直觀的Graph view，Scope view以及Record view視圖，極大地提高了臺(tái)架測(cè)試和I-V特性分析的效率。
標(biāo)準(zhǔn)掃描和列表掃描功能
IT2800系列SMU具備標(biāo)準(zhǔn)和列表LIST掃描功能。標(biāo)準(zhǔn)SWEEP模式下，支持線性和對(duì)數(shù)模式，單次和雙次掃描功能以及恒定和脈沖掃描功能。列表LIST掃描功能可以有效地執(zhí)行任意波形輸出，在表征響應(yīng)隨應(yīng)用電壓或電流而變化的測(cè)試中非常有用，用戶可以使用Excel導(dǎo)入或面板編輯的方式，生成一個(gè)任意形狀的掃描曲線，最多可以導(dǎo)入99999點(diǎn)數(shù)據(jù)，是U-I和I-U特性測(cè)試的理想選擇。
電池模擬器功能
得益于源表的四象限工作特性，IT2800系列產(chǎn)品不僅可作電壓源，電流源，6位半數(shù)字萬用表，還內(nèi)置了專業(yè)的電池模擬器功能，以幫助工程師更好地研究電池特性對(duì)DUT功耗及性能可靠性的影響。您可以通過自定義（SOC-VOC-R）或常規(guī)參數(shù)設(shè)定模式快速生成電池曲線，并可以任意zhi定電池的初始SoC狀態(tài)，而無需像使用真實(shí)電池一樣等待充電或放電，極大地提升了研發(fā)和生產(chǎn)測(cè)試效率。
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